转眼便是三月五日,春节假期早已过去,楚千澜上班也已经一个多星期。
就在五天前,65纳米光刻机完成了调试。
早在年前,负责研发存储芯片的赵立伟团队根据之前的研发成果,简化出一款65纳米制程的存储芯片。
这也是为了实验65纳米光刻机调试结果,专门研发的芯片。
不过,因为各种原因,这款芯片的流片直到第三次才成功。
听到这消息,楚千澜也很高兴。这意味着,65纳米光刻机调试成功。
而接下来,深蓝半导体的设备工程师又忙碌起来,他们开始尝试使用“多重曝光技术”,生产45纳米制程的存储芯片。
65纳米光刻机生产65纳米芯片,这本就是正常的事情。而生产出45纳米的芯片,才是楚千澜真正的目标。
三月五日的中午,深蓝半导体的厂区被笼罩在春雨当中,二号车间内却已是一片忙碌景象。
“多重曝光技术”的试验正在紧锣密鼓地进行中。工程师们围在65纳米光刻机旁,神情专注而紧张。
"第一道曝光工序完成,准备第二道。"设备工程师的声音透过对讲机传来。
"确认对位精度,误差控制在0.02微米以内。"张北光的声音沉稳而坚定。
楚千澜站在观察窗前,目光紧紧盯着屏幕上的对位标记。这是他真正关心的时刻,用65纳米设备挑战45纳米制程。
经过数小时的精细操作,第一片硅晶圆完成所有生产工序。
"送检测室。"张北光下令。
等待检测结果的时间总是漫长的。楚千澜在走廊上来回踱步,思绪万千。
"如果这次成功,我们将拥有自主生产45纳米芯片的能力。"王世杰站在一旁,语气中带着期待。