“可这台设备毕竟是国内目前最先进制程设备之一，拆解过程中要是出了差错，想要再找到替代设备，难如登天。”

王世杰看出沈院士的担忧，轻声安慰道：“沈院士放心，拆解前我们会完整记录设备结构，每一个零部件的安装位置、接线方式都会存档。

而且张北光团队已经拆解过250nm光刻机，有成熟的流程，不会出纰漏。”

他顿了顿，补充道：“拆解过程还会全程录像，同步上传到行星二号超算备份。哪怕某个部件出现损坏，也能根据扫描数据逆向复刻，不会影响后续复原光刻机。”

沈院士仍有顾虑：“逆向复刻谈何容易？像光学镜头、伺服电机这些核心部件，国内厂商的工艺还达不到原机水准，一旦损坏，恐怕还是要依赖进口。你们复刻过250纳米光刻机，应该更明白其中的难度！”

在他看来，以龙国目前的工业体系，很难复刻高端光刻机的核心部件。

王世杰却是语气坚定，“只有摸清每个部件的设计原理，才能推动国内供应商突破技术壁垒。

我们去年拆解的250纳米光刻机，已经完全吃透内部构造。按照计划，我们用国产部件复刻的250纳米光刻机，再有两个月就可以下线了。”

沈院士握着报告的手微微一松，眼中的担忧被难以置信取代：“两个月？用国产部件复刻250纳米光刻机？”

他深耕半导体领域数十年，太清楚高端设备国产化的难度。

250纳米光刻机虽非顶尖制程，但核心部件如精密导轨、伺服电机、光学镜头，长期依赖国外进口，国内厂商连逆向测绘都困难，更别提复刻组装。

去年王世杰通过他联系了很多厂商，当时他还以为双方应该是共同研究光刻机的某一种结构。

现在看来，当时就是复刻250纳米光刻机的某一种核心部件。